型號: L3-X00 晶舟轉換器

功能: 可將25或50片晶圓由來料容器中傳送至特定容器, 如:塑膠籃, 石英舟, 碳化矽晶舟,金屬籃等.

型號: ML2-X25 晶舟轉換器

功能: 可將25片晶圓於二種不同型式晶圓容器之間轉換, 如塑膠籃, 石英舟, 碳化矽晶舟,金屬籃等.

型號: PCJ-X25 間距可變式晶舟轉換器

功能: 可將25片晶圓於二種不同型式/不同間距的晶圓容器之間轉換, 如塑膠籃, 石英舟, 碳化矽晶舟,金屬籃等.

型號: WPA-800 晶圓包裝機

功能: 將晶圓由塑膠籃中放置於出貨的圓盒或方盒中, 或者是反向操作.

水平傳送器 (整批/可分批式)

平邊/V角整平器

晶圓挑片器

晶圓目檢器

刻號目檢器

型號: EV1-X00/EV2-X00晶圓自動分檢機