| 詳細說明: 
水平爐管
實驗室用水平爐管
Thermco 水平爐管系統
u超過50年的經驗與數千台的市場實績, 包括半導體及太陽能市場
u市場上的領導品牌-競爭對手相爭模仿的對象
u各式水平爐管尺寸由一般小尺吋至12”皆有供應
u獨特的Paddle承載系統, 可維持Paddle 不垂頭
u一般量產型及實驗室用爐管
u各式製程可依需求撘配
容量:依需求設計, 最高每管可容納300片晶圓
u超過20年的酸槽製作經驗.
u可供應半導體, 光電,工業及其它化學及多孔矽應用.
u充份的知識與設計能力
u全球化的技術及服務支援
EPI 長晶爐
u高製程彈性
u對應4”~8”晶圓
uEPI厚度由5 µm 至1>100 µm
uEPI層阻值由0.02 Ωcm to 50 Ωcm
u雙製程處理室
u低持有成本
u獨特的沉積噴射系統
u專利腔體設計 |
半導體產業
產品類別:半導體產業 - 
